中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997（此表设计时横轴和纵轴交换）
|
级别
指标
|
EW-I
|
EW-II
|
EW-III
|
EW-IV
|
|
电阻率
MΩ·cm（25˚C）
|
18以上
(95%时间)
不低于17
|
15
(95%时间)
不低于12
|
12.0
|
0.5
|
|
硅≤ μg/L
|
2
|
10
|
50
|
1000
|
|
＞1μm微粒数≤个/mL
|
0.1
|
5
|
10
|
500
|
|
细菌个数≤个/mL
|
0.01
|
0.1
|
10
|
100
|
|
铜≤μg/L
|
0.2
|
1
|
2
|
500
|
|
锌≤μg/L
|
0.2
|
1
|
5
|
500
|
|
镍≤μg/L
|
0.1
|
1
|
2
|
500
|
|
钠≤μg/L
|
0.5
|
2
|
5
|
1000
|
|
钾≤μg/L
|
0.5
|
2
|
5
|
500
|
|
氯≤μg/L
|
1
|
1
|
10
|
1000
|
|
硝酸根≤μg/L
|
1
|
1
|
5
|
500
|
|
磷酸根≤μg/L
|
1
|
1
|
5
|
500
|
|
硫酸根≤μg/L
|
1
|
1
|
5
|
500
|
|
总有机碳≤μg/L
|
20
|
100
|
200
|
1000
|